Kemampuan reaksinya kuat. Ketika ada air dan oksigen, maka akan bereaksi dengan bahan listrik dan air lebih lanjut, sehingga terurai menghasilkan gas beracun atau sangat beracun. Gas beracun ini terutama merusak sistem pernapasan tubuh manusia. Setelah keracunan, reaksi yang merugikan seperti pilek, alergi kulit, mual dan muntah, kelelahan, dll akan terjadi. Jika terhirup dalam dosis besar, konsekuensi yang lebih serius akan terjadi.
Oleh karena itu, tindakan perlindungan berikut harus dilakukan selama pemeliharaan dan pengujian peralatan SF6:
(1) Tempat kerja harus berventilasi kuat, dan personel pemeliharaan harus berada di posisi angin;
(2) Kenakan masker gas dan sarung tangan pelindung;
(3) Pulihkan gas yang dibuang, atau buang gas ke saluran pembuangan dengan saluran, daripada langsung membuangnya ke atmosfer;
(4) Sebelum istirahat atau setelah bekerja, cuci muka, leher, lengan dan tangan dengan sabun dan air yang banyak;
(5) Jika terjadi kontak yang tidak disengaja dengan gas dalam dosis besar, segera cuci, ganti pakaian, dan pergi ke rumah sakit untuk observasi dan perawatan tepat waktu.