Penganalisis Spektroskopi Inframerah Transformasi Fourier (FTIR) digunakan dalam industri manufaktur semikonduktor FTIR adalah instrumen analisis spektral yang menggunakan spektroskopi inframerah untuk menganalisis konsentrasi pengotor melalui transformasi Fourier. Spektrometer terutama terdiri dari sumber cahaya (batang karbon silikon, lampu merkuri bertekanan tinggi), interferometer Michelson, detektor, dan interferometer
Cahaya infra merah yang dipancarkan oleh sumber cahaya infra merah S dikolimasi menjadi sinar infra merah paralel dan memasuki sistem interferensi. Setelah diatur oleh interferometer, diperoleh seberkas cahaya interferensi. Cahaya interferensi melewati sampel Sa untuk memperoleh sinyal interferensi yang berisi informasi spektral, yang mencapai detektor D dan kemudian diubah menjadi sinyal listrik oleh D. Sinyal interferensi disini adalah fungsi waktu, yaitu pola interferensi yang ditarik oleh sinyal interferensi , dan sumbu horizontalnya adalah waktu atau jarak pergerakan cermin. Pola interferensi ini dikirim ke komputer melalui konverter A/D, dan komputer melakukan perhitungan transformasi Fourier cepat untuk mendapatkan spektrum inframerah dengan bilangan gelombang sebagai sumbu horizontal. Kemudian dikirim ke plotter melalui konverter D/A untuk menggambar spektrum serapan inframerah standar yang sangat dikenal.
